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"HBM·AI칩 미세 검사"…레이언스, 산업용 엑스레이 디텍터 출시
플래시 시리즈는 2021년 국내 최초로 출시한 인라인 AXI용 초고속 동영상 디텍터를 기반으로 성능을 고도화한 제품이다. 49.5㎛(마이크로미터) 픽셀 사이즈와 최대 70fps 속도를 구현해 고속 환경에서도 안정적인 미세 검출이 가능하다.
국내 산업용 디텍터 중 가장 높은 수준의 해상도를 구현했으며, 미세 패턴과 적층 구조가 복잡한 고대역폭메모리(HBM) 및 AI(인공지능) 칩 검사에 최적화돼 있다. AXI와 3D X-ray CT 검사 장비에 적용 시 생산라인 내 실시간 검사와 수율 개선을 달성할 수 있다는 설명이다.
또 레이언스 AXI 제품은 2만Gy(그레이, 방사선 흡수선량) 수준의 엑스레이 강건성을 확보해 내구성이 우수하다. 고출력 엑스레이 사용이 가능해 더 빠른 검사 속도를 유지할 수 있다. 장비업체 입장에선 디텍터 교체 빈도 감소와 내구성 유지 비용 절감 효과를 기대할 수 있다.
서재정 레이언스 대표는 "AI 인프라 확대와 함께 HBM 및 AI 칩의 구조적 복잡성이 심화되면서 AXI 및 3D 엑스레이 CT 기반 미세 검출은 반도체 제조 공정에서 필수 요소로 자리잡고 있다"고 말했다.
이어 "앞으로 산업용 엑스레이 검사 시장에 더욱 특화해 고속·고해상도·고내구성을 갖춘 차세대 CMOS(상보형 금속산화막 반도체) 디텍터 개발에 집중하고, AI 반도체 및 첨단 제조 분야에서 핵심 파트너로서의 입지를 강화해 나가겠다"고 덧붙였다.
최태범 기자 bum_t@mt.co.kr
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