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[더벨]아이엠티 "워페이지 장비 개발 순항, 공정 적용 준비"
"워페이지(warpage) 컨트롤러 장비 개발은 마무리 상당 부분 진행됐다. 현재는 공정 적용을 위한 성능 테스트를 앞두고 있는 상태다. 해당 장비를 제외하더라도 실적 성장세는 지속될 것으로 본다. 지난해 대비 50% 이상의 성장을 목표로 하고 있다."
최재성 아이엠티 대표(사진)는 지난 22일 더벨과 만나 사업 진행 현황과 올해 계획에 대해 밝혔다. 아이엠티는 반도체 장비·부품 생산을 주력으로 하는 코스닥 상장 기업이다. 세정·열처리 관련 원천 기술력에 기반한 반도체 장비·부품 사업을 주력으로 하고 있다.
최 대표가 아이엠티를 설립한 것은 2000년이다. 대우조선해양·고등기술연구원을 거쳐 회사를 세웠다. 대우조선해양 연구 당시 최 대표의 팀에서 일하던 인력들이 초창기 회사의 구심점이 됐다.
회사의 토대가 된 기술 역시 고등기술연구원에서 축적된 연구 성과에서 출발했다. 최 대표가 고등기술연구원 재직 당시 발견한 '레이저 쇽웨이브' 현상이 레이저 원천 기술로 자리 잡은 것이 대표적이다.
레이저 쇽웨이브란 고출력 레이저 조사 시 충격파가 발생하는 현상이다. 세척이 필요한 반도체 소재·장비에 레이저를 투사할 경우 이 충격파에 의해 오염 물질이 분리·제거되는 효과가 기대됐다.
최 대표는 "대우조선해양이 어려움을 겪으면서 기술이 사장되지 않길 바랐다"며 "이후에도 연구·개발을 지속한 것이 창업으로 이어졌다"고 말했다. 이어 "창업 당시 일류 반도체 장비 기업을 세우고 싶었다"고 회상했다.
그의 바람처럼 기술은 개량·발전되며 명맥을 이어갔고, 그 결과 사업화까지 이어질 수 있었다. 아이엠티가 상장 당시 기술평가에서 AA를 받을 수 있었던 주요 배경으로는 반도체 중심의 사업 확장성과 '원천 기술'이 지닌 폭넓은 활용 범위가 꼽힌다.
회사가 개발한 '워페이지 컨트롤 장비'는 원천 기술의 확장성을 보여주는 사례다. 장비는 아이엠티의 'EUV 마스크 베이킹(열처리)' 기술력을 확장·변형해 개발됐다.
최 대표는 "SK하이닉스로부터 관련 기술의 응용 가능성을 제안받았다"며 "장비의 기술적 기반은 기존 베이킹 기술에서 출발한다"고 말했다.
장비의 개발은 SK하이닉스의 지원 아래 진행됐다. 지난해에는 SK하이닉스의 '기술혁신기업'으로 선정돼 자금, 특허 등 전방위적 도움을 받고 있다.
최 대표는 "설립 이래 여러 형태로 삼성전자·SK하이닉스의 도움을 받았지만 지금처럼 전폭적인 지원을 받는 것은 처음"이라며 "이에 보답하고자 회사의 명운을 걸고 장비 개발에 매진해왔다"고 강조했다.
SK하이닉스가 아이엠티를 적극 지원한 것은 워페이지 컨트롤러 장비가 HBM 수율과 직결되기 때문이다. 여러 층을 쌓는 구조인 HBM은 공정이 진행될수록 열과 팽창 차이로 웨이퍼가 휘어지기 쉽다(워페이지 현상). 웨이퍼가 휘어질 경우 본딩 불량·정렬 오차·미세 패턴 손상으로 수율 저하로 이어진다.
문제는 HBM 공정이 고도화될수록 워페이지 현상이 심화된다는 점이다. 때문에 SK하이닉스 역시 해당 문제 해결에 주력하고 있다. 아이엠티와 함께 기술혁신기업 8기로 선정된 넥센서가 워페이지 측정 기업이라는 점도 같은 맥락으로 해석된다.
아이엠티는 올해 말까지는 장비 검증을 완료하고 양산 적용에 나설 방침이다. 향후 몇 년간은 SK하이닉스를 중심으로 납품이 이뤄질 가능성이 높다. 장비가 활용 빈도가 많은 반도체 전공정에 투입되는 만큼 수주가 현실화 될 경우 매출 단위 한 단계 도약할 것으로 보인다.
최근에는 장비 검증(준비) 작업에 한창이다. 지난 1일 전환사채(CB)를 통해 120억원을 조달했는데 대부분 양산 전 장비 검증을 위한 클린룸 구축에 투입한다. 기존에 보유한 클린룸으로는 장비를 검증하기 어렵다는 설명이다.
실적에 반영되는 시점은 내년 이후가 될 전망이지만 지난해의 성장세는 지속될 예정이다. 자회사 아이엠텍플러스를 통한 실적 개선 흐름이 이어질 가능성이 높다.
아이엠텍플러스는 웨이퍼 테스트 공정의 프로브 카드에 들어가는 MLC 기판을 만드는 기업이다. HTCC(고온소성 세라믹) 기반으로 제품을 생산해 HBM 공정이 고도화될수록 고집적·고내열 요구에 대응하기 유리하다.
최 대표는 "아이엠텍플러스와 같은 사업을 주력으로 하는 기업은 세계적으로도 극소수"라며 "회사는 워페이지 컨트롤러와 아이엠텍플러스를 통해 실적 성장세를 한층 끌어올릴 수 있을 것"이라고 전했다.
김인엽 기자 info@thebell.co.kr
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