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2026년 10월 19일 15:52 권현수 기자

나노 넘어 원자 단위까지 분석…한국기술교육대, 최고 사양 TEM 도입

유길상 한기대 총장 "300kV 전자현미경 구축…첨단 산업현장 기술 지원 가속"

한국기술교육대학교(총장 유길상)는 19일 교내 산학협력관에서 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차보정 투과전자현미경'(Double Cs-TEM) 도입 기념식을 열었다.

새로 구축된 장비는 네덜란드 써모피셔사이언티픽(Thermo Fisher Scientific)사의 최고 등급 투과전자현미경이다. 가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰이 가능하다.

에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재되어 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명을 지원한다.

이에 따라 반도체·디스플레이 소재 및 박막을 비롯해 금속, 바이오, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 담당하게 된다. 융합소재 공정 중 발생하는 미세 이물 성분을 식별하고 제품 변형의 근본 원인을 추적하는 역할도 수행한다.

센터 내 기존 집속이온빔(FIB) 장비와 연계해 '원스톱 시료 전처리-초정밀 분석 프로세스'를 구축, 시료 변질을 방지하고 분석 속도를 극대화했다.

이번 장비 도입은 2024년 8월 선정된 산업통상자원부 '산업혁신기반구축 고도화 사업'의 일환으로 추진됐다. 전체 사업비 94억원(국비 70억원, 민간 대응금 24억원) 중 약 45억원의 예산이 장비 구축에만 투입됐다.

대학은 이 장비를 활용해 기업의 소재·제품 개발 과정에서 발생하는 기술적 난제를 해결하는 한편, 학생 및 재직자 대상 첨단 분석 교육과 교내외 공동 연구 인프라로 활용한다.

유길상 총장은 "이번에 도입한 첨단 장비가 대학의 교육·연구 역량을 한층 끌어올리고, 반도체 등 첨단 산업현장에 실질적으로 기여하는 도약의 발판이 되길 기대한다"고 말했다.

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