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| Á¦¸ñ : [´õº§]JKM, °íºÎ°¡ ¿ëÁ¦ »ç¾÷ º»°ÝÈ
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| 2026³â 04¿ù 27ÀÏ 14:17 ¾ç±Í³² ±âÀÚ |
| [´õº§]JKM, °íºÎ°¡ ¿ëÁ¦ »ç¾÷ º»°ÝÈ |
ÇÑ¿ï¼ÒÀç°úÇÐ ÀÚȸ»ç Á¦ÀÌÄÉÀÌ¸ÓÆ®¸®¾óÁî(ÀÌÇÏ JKM)´Â 27ÀÏ À̶õ ÀüÀï ¿©ÆÄ·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °ø±Þ¸Á ºÒ¾ÈÀÌ È®´ëµÇ´Â °¡¿îµ¥ °íºÎ°¡ ¿ëÁ¦ »ç¾÷À» ÅëÇØ ´ëÀÀ¿¡ ³ª¼±´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÃÖ±Ù Áßµ¿ ÀüÀïÀ¸·Î ÃË¹ßµÈ ³ªÇÁŸ °ø±Þ ºÎÁ·À¸·Î ÇÁ·ÎÇÊ·» °è¿ ¿ø·á ¼ö±Þµµ ±Þ°ÝÈ÷ ¾Çȵǰí ÀÖ´Ù. Á¤ºÎ´Â Áö³ 15ÀϺÎÅÍ ¿¡Æ¿·», ÇÁ·ÎÇÊ·» µî ³ªÇÁŸ ±â¹Ý 7°³ ¼®À¯ÈÇÐ ±âÃÊ À¯ºÐ¿¡ ´ëÇÑ ¸ÅÁ¡¸Å¼®À» ±ÝÁöÇÏ°í °ø±Þ¸Á °ü¸® °È¿¡ ³ª¼¹´Ù.
ÀÌ¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR)¸¦ ºñ·ÔÇÑ ¹ÝµµÃ¼ Æ÷Åä °øÁ¤ ÇÙ½É ¼ÒÀç¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇÁ·ÎÇÊ·»±Û¸®ÄÝ ¸ð³ë¸ÞÆ¿ ¿¡Å׸£(PGME)¿Í ÇÁ·ÎÇÊ·»±Û¸®ÄÝ ¸ð³ë¸ÞÆ¿ ¿¡Å׸£ ¾Æ¼¼Å×ÀÌÆ®(PGMEA) »ý»ê¿¡µµ ¿¬¼âÀûÀÎ Â÷ÁúÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â »óȲÀÌ´Ù.
JKMÀº PGME¿Í PGMEA µîÀ» Áß½ÉÀ¸·Î °íºÎ°¡ ¿ëÁ¦ »ç¾÷À» ½Å±Ô ÇÙ½É »ç¾÷À¸·Î ÃßÁøÇϰí ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ °íµµÈ¿¡ ´ëÀÀ °¡´ÉÇÑ ÃÊ°í¼øµµ(5N, 99.999%) Á¦Ç° °ø±ÞÀ» ÇØ¿Ü ¼ÒÀç ¾÷ü¿Í ³íÀÇ ÁßÀÌ´Ù. ÇØ´ç ¼ÒÀç´Â EUV(±ØÀڿܼ±) µî ÷´Ü °øÁ¤¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Á¦Á¶¿¡µµ Ȱ¿ëµÇ´Â ÇÙ½É ¿ø·á´Ù.
PGME¿Í PGMEA´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR), ½Å³Ê(Thinner), ¹Ý»ç¹æÁö¸·(BARC), ½ºÇÉ¿ÂÇϵ帶½ºÅ©(SOH) µî ÁÖ¿ä °øÁ¤ ¼ÒÀç Àü¹Ý¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Çʼö ¿ëÁ¦´Ù. ƯÈ÷ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éÀÇ À¯±â¸· Á¦°Å¿Í Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® µµÆ÷ ±ÕÀϼºÀ» ³ôÀÌ´Â ½Å³ÊÀÇ ÁÖ¿ä ¿ø·á·Î Ȱ¿ëµÈ´Ù. ÇØ´ç ¼ÒÀç °ø±ÞÀÌ Á¦ÇÑµÉ °æ¿ì ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Àü¹Ý¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÙ ¼ö ÀÖ´Ù.
JKMÀº ±Û·Î¹ú ÷´Ü¼ÒÀç ±â¾÷ 37°÷°ú ÆÄÆ®³Ê½ÊÀ» ¸Î°í ƯÁ¤ Áö¿ª¿¡ ÆíÁßµÇÁö ¾ÊÀº ¿ø·á Á¶´Þ ±¸Á¶¸¦ È®º¸Çϰí ÀÖ´Ù. °ø±Þ¸Á ºÒ¾È »óȲ¿¡¼µµ ºñ±³Àû ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼ö±Þ ´ëÀÀÀÌ °¡´ÉÇϵµ·Ï ±Û·Î¹ú ³×Æ®¿öÅ©¸¦ °ÈÇϰí ÀÖ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ È¸»ç´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶»çÀÇ »ý»ê ·Îµå¸ÊÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ¼ÒÀç °ø±Þ °èȹÀ» ¼ö¸³ ÁßÀÌ´Ù. ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤À» Æ÷ÇÔÇØ BARC, SOH µî °ü·Ã ¼ÒÀç¿¡ Àû¿ëµÇ´Â ¿ëÁ¦ °ø±Þ ¿ª·®À» ´Ü°èÀûÀ¸·Î È®´ëÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
JKM °ü°èÀÚ´Â "¿ø·á °ø±Þ ºÒ¾È »óȲ¿¡¼´Â ƯÁ¤ ±¹°¡ ÀÇÁ¸µµ¸¦ ³·Ãá °ø±Þ¸Á ±¸Á¶°¡ ÇÙ½É °æÀï·Â"À̶ó¸ç "ÃÊ°í¼øµµ ¿ëÁ¦ °ø±ÞÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¾ÈÁ¤È¿¡ ±â¿©ÇÏ°í ¼ÒÀç ±¹»êÈ¿Í °ø±Þ¸Á ´Ùº¯È È帧¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
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[´õº§]JKM, °íºÎ°¡ ¿ëÁ¦ »ç¾÷ º»°ÝÈ
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