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| 제목 : 나노 넘어 원자 단위까지 분석…한국기술교육대, 최고 사양 TEM 도입
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| 2026년 10월 19일 15:52 권현수 기자 |
| 나노 넘어 원자 단위까지 분석…한국기술교육대, 최고 사양 TEM 도입 |
유길상 한기대 총장 "300kV 전자현미경 구축…첨단 산업현장 기술 지원 가속"
 한국기술교육대학교(총장 유길상)는 19일 교내 산학협력관에서 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차보정 투과전자현미경'(Double Cs-TEM) 도입 기념식을 열었다.
새로 구축된 장비는 네덜란드 써모피셔사이언티픽(Thermo Fisher Scientific)사의 최고 등급 투과전자현미경이다. 가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰이 가능하다.
에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재되어 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명을 지원한다.
이에 따라 반도체·디스플레이 소재 및 박막을 비롯해 금속, 바이오, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 담당하게 된다. 융합소재 공정 중 발생하는 미세 이물 성분을 식별하고 제품 변형의 근본 원인을 추적하는 역할도 수행한다.
센터 내 기존 집속이온빔(FIB) 장비와 연계해 '원스톱 시료 전처리-초정밀 분석 프로세스'를 구축, 시료 변질을 방지하고 분석 속도를 극대화했다.
이번 장비 도입은 2024년 8월 선정된 산업통상자원부 '산업혁신기반구축 고도화 사업'의 일환으로 추진됐다. 전체 사업비 94억원(국비 70억원, 민간 대응금 24억원) 중 약 45억원의 예산이 장비 구축에만 투입됐다.
대학은 이 장비를 활용해 기업의 소재·제품 개발 과정에서 발생하는 기술적 난제를 해결하는 한편, 학생 및 재직자 대상 첨단 분석 교육과 교내외 공동 연구 인프라로 활용한다.
유길상 총장은 "이번에 도입한 첨단 장비가 대학의 교육·연구 역량을 한층 끌어올리고, 반도체 등 첨단 산업현장에 실질적으로 기여하는 도약의 발판이 되길 기대한다"고 말했다.
권현수 기자 khs@mt.co.kr
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