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| 제목 : 에이루트 子 앤에스알시, 중국 대형 반도체 팹 노광장비 시운전 돌입
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| 2026년 10월 29일 10:18 김건우 기자 |
| 에이루트 子 앤에스알시, 중국 대형 반도체 팹 노광장비 시운전 돌입 |
에이루트의 반도체 장비 자회사 앤에스알시(NSRC)는 중국 대형 반도체 제조기업 A사의 생산공장(팹)에 적용되는 노광장비의 현지 설치 및 시운전을 본격화했다고 29일 밝혔다.
앤에스알시는 중국 대형 반도체 제조사 A사의 생산공장(팹)에 투입되는 ArF 노광장비의 현지 설치와 시운전을 진행 중이다. 앤에스알시는 지난 6월 중국 내 최상위권 반도체 리퍼비시(재정비) 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 해당 장비의 설치와 운영을 위한 기술용역을 수주한 바 있다.
노광장비(리소그래피)는 웨이퍼 표면에 빛을 쬐어 미세 회로 패턴을 새기는 반도체 8대 핵심 전공정 장비다. 이번에 설치·시운전되는 ArF 장비는 기존 아이라인(i-line)이나 불화크립톤(KrF) 장비에 비해 파장이 짧아 고해상도 초미세 회로 패턴 공정을 구현할 수 있다. 앤에스알시는 지난 2024년부터 A사에 다양한 노광장비 기술용역을 제공하며 현지 레퍼런스를 다져왔다.
최근 미국의 장비 수출 규제에 맞서 중국 반도체 기업들이 설비 투자와 생산 자립에 속도를 내면서, 신규 장비 도입의 대안으로 납기와 비용 경쟁력이 높은 리퍼비시 장비 수요가 가파르게 늘고 있다. 정밀도와 공정 안정성을 좌우하는 현지 장비 설치와 가동 안정화 역량이 핵심 경쟁 요소로 꼽히는 배경이다.
앤에스알시는 반도체 노광장비에 대한 자체 기술력을 기반으로 해외 시장을 공략 중이다. 소싱, 점검, 고도화, 이전 설치, 셋업, 유지보수(A/S)까지 대응 가능한 엔지니어링 역량을 강화하면서 중국과 대만 등 글로벌 기업에 제품을 공급해오고 있다.
회사 관계자는 "중국 반도체 기업들의 설비 투자와 공정 고도화 수요가 이어지는 가운데, 리퍼비시 노광장비는 납기와 비용 효율성 측면에서 성숙·특화공정 고객사의 현실적인 선택지로 주목받고 있다"며 "현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것"이라고 말했다.
그는 이어 "이번 중국 반도체 대기업향 ArF 노광장비 셋업을 성공적으로 마무리해 현지 생산라인에 필요한 기술력을 입증할 것"이라며 "이외에도 다양한 해외 반도체 고객사를 대상으로 추가 공급계약을 체결해 고부가가치 사업을 확대해 나가겠다"고 덧붙였다.
한편 에이루트는 산업용 미니프린터 등 기존 주력 사업에 더해 반도체 노광장비 리퍼비시 및 개조 전문 자회사 앤에스알시를 영위하고 있다. 지난 26일 반도체 노광장비 사업을 핵심 부문으로 편입하기 위해 자회사 앤에스알시를 흡수합병하기로 결정한 바 있다. 합병 기일은 오는 2027년 1월 1일이다.
김건우 기자 jai@mt.co.kr
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