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  제목 : [더벨]에이루트 자회사, 중국 반도체 기업향 노광장비 셋업 진행 크게보기 작게보기 인쇄하기 목록보기
2026년 10월 29일 13:47 양귀남 기자 


   [더벨]에이루트 자회사, 중국 반도체 기업향 노광장비 셋업 진행



에이루트는 29일 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국 대형 반도체 제조기업 A사의 생산공장(팹)에 적용되는 노광장비의 현지 셋업을 진행 중이라고 밝혔다.

앤에스알시는 지난 6월 중국 내 탑티어 반도체 리퍼비시 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 ArF(불화아르곤) 노광장비의 설치 및 운영을 위한 기술용역을 수주했다. 해당 장비는 초미세 반도체 회로 패턴을 구현할 수 있는 핵심 전공정 장비로, i-line(아이라인) 및 KrF(불화크립톤) 장비 대비 고해상도 공정 대응이 가능한 게 특징이다.

앤에스알시는 지난 2024년부터 A사에 다양한 노광장비에 대한 기술용역을 제공 중이다. 노광장비는 정밀도와 셋업 안정성이 생산라인 운영에 직접적인 영향을 미치기 때문에 현지 설치와 기술 대응 역량이 핵심 경쟁 요소로 꼽힌다.

최근 중국 반도체 기업들이 기술 자립에 나선 가운데, 현지 생산설비 투자가 확대되면서 장비 수요도 급증하고 있다. 특히 신규 장비 확보가 제한적인 반도체 공정에서는 납기와 비용 효율성을 갖춘 리퍼비시 장비가 현실적인 대안으로 주목받고 있으며, 안정적인 공급과 현지 셋업 역량의 중요성도 커지고 있다.

앤에스알시는 반도체 노광장비에 대한 자체 기술력을 기반으로 해외 시장을 공략 중이다. 소싱, 점검, 고도화, 이전 설치, 셋업, 유지보수(A/S)까지 대응 가능한 엔지니어링 역량을 강화하면서 중국과 대만 등 글로벌 기업에 제품을 공급해오고 있다.

에이루트 관계자는 "리퍼비시 노광장비는 납기와 비용 효율성 측면에서 성숙·특화공정 고객사의 현실적인 선택지로 주목받고 있다"며 "현지 파트너 네트워크와 자체 엔지니어링 역량을 기반으로 중국 반도체 제조 고객사 대상 장비 공급과 기술용역 관련 신규 수주 확보에 나설 것"이라고 말했다.


양귀남 기자 info@thebell.co.kr







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